真空电镀设备之罗茨真空泵的故障分析

真空电镀设备主要由抽真空系统、电气系统及真空室组成。抽真空系统主要由机械泵（前级泵）、罗茨真空泵和油扩散泵组成。罗茨真空泵除了应用于真空电镀设备，还广泛用于真空浸渍、医药化工的蒸馏和精馏等领域。罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时对具有较高的抽气速率，缺点是必须与机械泵串联使用，不能高压差工作。所以安装罗茨真空泵时要注意安装必要的保护设施。今天，简单介绍一下罗茨真空泵的故障及解决方法。

罗茨真空泵

    故障一、极限压力不高
    原因①：管道、系统漏气；解决方法：系统检漏。
    原因②：泵部分漏气；解决方法：对泵检漏。
    原因③：前级泵极限压力下降；解决方法：修理或更换前级泵。
    原因④：润滑油太脏或牌号不符；解决方法：调换润滑油。
    原因⑤：油封磨损；解决方法：调换油封。
    原因⑥溢流阀漏气；解决方法;对溢流阀进行修理。

真空电镀的发明及真空电镀机的维护
    故障二、声音异常
    原因①：装配不良；解决方法：重装。
    原因②：导向齿轮与转子位置偏移使转子相碰；解决方法：调整位置，保证间隙。
    原因③：入口压力过高；解决方法：调整、控制入口压力。
    原因④：过载或润滑不良造成齿轮损伤；解决方法：调换齿轮。
    原因⑤：轴承磨损；解决方法：调换轴承。
    故障三、电动机过载
    原因①：入口压力不高；解决方法：调整、控制入口压力。
    原因②：转子端面现端面盖单面接触；解决方法：调整转子端面间隙。
    原因③机械泵返油进泵腔：解决方法：装置防返油设备。
    原因④：溢流阀卡住，式出口过高；解决方法：对溢流阀进行清理。