1)所需设备:CCZK-1600-OGS 光学电子枪镀膜
2)获得膜层:金属化合物涂层,烘制金色涂层
3)涂装流程:产品的前处理清洗---烘干---真空镀膜---烘烤---成品包装
4)基本配置:
腔体结构:D1600MM*H1500MM 立式单开门
腔体材质:304不锈钢
转动方式:穹顶行星式转架,可设计直型,U型号等不同型号的黄金管夹具系统
蒸发电源:SCR可控硅+大功率蒸发变压器
蒸发阻源:3组
电 子 枪:E型电子枪,磁偏转270°
坩 埚:可旋转多孔位坩埚
离 子 源:采用霍尔离子源
膜层控制:采用英福康晶振膜厚仪
深冷系统:-135°深冷水汽捕集器(可选)
泵抽系统:1台扩散泵+1台罗茨泵+2台旋片泵+1台维持泵
智能控制:PLC+HMI智能人机界面控制+报警系统
安装服务:免费提供客户现场的安装调试服务
保修服务:免费提供12个月的保修服务
培训服务:免费提供客户操作人员的基本培训服务
5)需求配套设施:
空压机+储气罐+水泵+冷却水塔
水压流速:0.2Mpa 3m3/h
气 压:0.4-0.8mpa
水 温:小于25℃
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